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參考
工業 / 半導體 廢氣處理機
廠牌：KOIKE
型號：GUARDIAN - F型 BW式
說明：實驗室/半導體/工業 廢氣處理。
產地: 日本原裝
無現貨品需預訂
請見日文說明
濃度與使用氣體種類有限定~請先確認是否符合需求
説明
東京ガス株式会社、東京ガスケミカル株式会社、小池酸素工業株式会社の3社は、半導体製造工程で使用される温室効果ガスのPFC(パーフルオロカーボン)をターゲットとして共同開発に取り組み、PFCを究極まで分解する燃焼式排ガス処理装置"GUARDIAN - F型"の開発に成功しました。
"BW式"は、縦型燃焼器の採用でフットプリントを縮小し、狭小なスペースにも対応しておりますので、従来のPFC未対応の除害装置との置き換えが容易です。また、水冷方式の採用により排気風量を縮小しているので、工場の排気設備の負担を抑えます。
主な用途
半導体製造のCVD等のプロセスガスの除害
処理対象ガス
C
SiH4，SiF4，TEOS，PH3，B2H6，NH3，N2O 等
高温燃焼可能なバーナーと燃焼室
PFCガスを99%以上分解する高い分解効率
安価なランニングコスト
優れた粉体処理
スクレーパー採用
メンテナンス容易
長いメンテナンスサイクル
すぐれた腐食対策
部位に応じた耐熱・耐食材料・コーティング
上位装置に合わせたマルチポートに対応
1～3ポート (3ポート以上はご相談ください)
歡迎有問題直接與本公司技術組聯絡
(2) 本公司有2位工程事務人員歡迎詢問
(3) 配管或管路工程部分也歡迎廠商洽詢
(4) 本公司販賣工業焊接切割器材類已超過30年以上
為台灣代理多款工業類等輸入最悠久廠商
多年來已建立相當好的口碑.
品質優良且絕對耐用.
台灣超過上萬廠商使用過
